PS-7-M
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介紹吸引式半導體材料氣體偵測器
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類別檢測器
★感應器模組更換式的固定型半導體材料氣體偵測器。
★在現場直接更換已校正的感應器模組，無需使用標準氣體校正。
★支援檢測NF3，無需外掛加熱器模組。
★支援Modbus(RS-485/Ethernet) ※乙太網路支援PoE。
★符合CE與SEMI規範。
檢測氣體 |
砷化氫【AsH3】、氨氣【NH3】、一氧化碳【CO】、一氧化氮【NO】、氯化氫【HCI】、氯氣【Cl2】、臭氧【O3】、三氟化氯【ClF3】、二氯矽烷【SiH2Cl2】、乙矽烷【Si2H6】、乙硼烷【B2H6】、溴化氫【HBr】、硒化氫【H2Se】、二氧化硫【SO2】、二氧化氮【NO2】、半導體材料氣體、氟化氫【HF】、三氟化磷【PF3】氟氣【F2】、磷化氫【PH3】、甲鍺烷【GeH4】、甲矽烷【SiH4】、硫化氫【H2S】、三氟化氮【NF3】、六氟丁二烯【C4F6】、八氟環戊烯【C5F8】、乙酸【CH3COOH】、四乙氧基矽烷【TEOS】、三甲基矽基【TMS】、磷酸三乙酯【TEPO】、三乙硼烷【TEB】、四氫呋喃【THF】、四氯化鈦【TiCl4】、三甲基鋁【TMA】、三甲矽烷基胺【TSA】、【LT0520】、三甲氧基五甲基環戊烯基鈦【NxTi】、N-甲基吡咯烷酮(NMP)【C5H9NO】、環氧乙烷(EO)【C2H4O】、氫氣【H2】、甲烷【CH4】、R-32【HFC-32/CH2F2】、R-41【CH3F】、四氯化碳【CCl4】、氧氣【O2】
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